SEM-EDS徹底解説 ― 像は nm、分析は μm。同じ場所を見ていない【2026年版】
SEM は数 nm の像を出す。その同じ電子線で元素分析をすると、返ってくる情報は μm の領域からのものになる。 これはメーカー自身が「10 kV 超では相互作用体積はマイクロメートルのオーダー」と技術資料に明記している 事実である。さらに検出器のカタログも、2022 年に改訂された ISO 15632 以降は Mn Kα だけでは足りず C Kα と F Kα の記載を求められるようになった ―― 同じ検出器の対で Mn K の差が 5 % でも、C K では 35 % 開くからだ。 そして定量値。NIST が希土類鉱物を実測すると、1 mass% の Dy は誤差 2 % で決まるのに、0.251 mass% の Tb は 69 % 高く出る。極めつけは検出限界で、検出器自身の材料である C・Al・Si は、装置が出す蛍光のせいで 検出限界が 1 桁以上悪化する。本記事は「SEM-EDS の数字はどこまで信用できるか」を一次資料の数値だけで追う。